
别多。隔壁课题组一个博士生带着三个硕士生在排队,走廊里站了一串。沈听澜和周予安分到的机时是下午一点到三点,时间卡得很死,到点就得交设备。 她有点急。 不是周予安催她,是后面那个博士生每隔几分钟就从玻璃窗往里看一眼。口罩上面那双眼睛写满了“你们快点”。 沈听澜把基底放上样品台,在触摸屏上设置曝光参数。紫外曝光,剂量那一栏她多输了一个零。 周予安在旁边检查掩模版对准,没看屏幕。 她按下确认键的时候,手指顿了一下。总觉得哪里不太对,但后面那个博士生又往窗户里看了一眼。 她就把键按下去了。 曝光完成。她把基底取出来放进显影液。 透明的液体里,光刻胶没有像往常一样从图案边缘开始溶解。...